作者：Jeanne Mcdermott,李泽江 单位：上海市科学学研究所等 出版：《》 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSJKE1985110160 DOC编号：DOCSJKE1985110169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微小的机械装置——阀门、加速器、压力传感器等，会在硅片上成批地腐蚀，进而被切断为集成电路碎片。这些装置，如果依照微电子电路完善地按规定尺寸进行制造，就能理想地监测污染，辅佐医学研究，给机器人以触觉感，等等。

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