作者：姚承三,徐科军,马文 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》1989年第08期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB1989080050 DOC编号：DOCZDYB1989080059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、问题的提出 要制作高精确度硅杯式压阻压力传感器，设计、工艺、材料是三个关键环节，而分析敏感部分的工作原理，建立其精确的数学模型，则是搞好设计的前提。'以往，人们都依据弹性薄板力学原理，

    📙 相关资料

    1. 《SMI硅微结构超低压力传感器》PDF+DOC 压力传感器技术是传感器技术中最早建立及发展起来的领域之一，但依然不能适应当前飞速发展的现实需要。主要问题是价格昂贵、输入-输出特性非线性严重以及难以敏感微小的压力。 美国Silicon Microstructures Inc(SMI)(EXAR公司的一个全资子公司)开发了一系列低价位、线性度在0.1......
    2. 《振弦式单、双膜片土压力传感器在不同介质作用下输出特性的探讨》PDF+DOC 本文对振弦式单、双膜片土压力传感器在不同介质作用下的输出特性进行了探讨。文中分别介绍了单、双膜片传感器结构、介质作用的影响及误差分析，并且介绍了单、双膜片传感器输出特性受不同介质影响的试验，可供参考。...
    3. 《SOI高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍了SOI压力传感器的制作工艺，并且通过有限元软件对传感器输出特性进行模拟，模拟结果与实际测得结果是相符的。对SOI压力传感器测量结果表明，当温度增加到220℃传感器仍然能保持很好线性。另外对SOI压力传感器和多晶硅压力传感器进行比较，发现单晶硅SOI高温压力传感器灵敏度比多晶硅高温压力传感器灵敏......
    4. 《半导体压力/差压变送器发展动向》PDF+DOC 本文介绍了国内外压力/差压变送器的发展动向。文中详细介绍了各类三膜片式差压变送器的结构和工作原理。由于IC技术的迅速发展，压力/差压变送器将进一步集成化、智能化，本文对这方面的研究现状也作了简要的阐述。...
    5. 《单片式电容压力传感器》PDF+DOC 介绍了一种新的微形单片式电容压力传感器(CPT1)，其灵敏度比压阻应变式压力传感器高20倍，功率仅为后者的1％，而且通过现行的集成电路工艺可以批量生产。第二种器件(CPT11)是将双极信号处理电子线路一并制作在同一芯片上，产生一种周期与压力有关的低荷周脉冲式输出。这种输出形式有助于解决引线间的短路问......
    6. 《扩散硅压力传感器》PDF+DOC 扩散硅压力传感器是利用力敏器件制成的一种新型的压力传感器。由于它测量精度高，体积小，重量轻，工作可靠，频率响应快等优点，受到了人们高度重视。近几年来，正逐渐被应用到科技与生产各部门中去。扩散硅压力传感器的核心部分是力敏器件。故本文着重对力敏器件的有关问题作介绍。...
    7. 《柔性可穿戴压力传感器的研究进展》PDF+DOC 简单介绍了压电、压容和压阻柔性压力传感器的特点，着重阐述了3种柔性压力传感器的工作原理及常用的柔性材料，综述了其在电子皮肤、人机交互、保健康复，生理信号监测等领域的应用。最后指出了近年来柔性压力传感器的国内外研究现状及发展过程中存在的问题，并对其面临的挑战与未来的发展进行了展望。...
    8. 《ANSYS在高精度压力传感器感压膜片结构分析中的应用》PDF+DOC ANSYS作为最通用最有效的有限元软件之一，在计算数学、计算力学和计算工程科学领域都得到了的广泛的应用。本文正是利用ANSYS软件强大的有限元分析功能，对压力传感器感压膜片在一定压力下变形情况进行分析，实现感压膜片的应力分析。...
    9. 《基于MEMS实现SOI压力传感器的工艺研究》PDF+DOC 应用压组效应原理制作硅氧化物绝缘体(SOI)压力传感器，具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点，本文说明了SOI在微电子机械系统(MEMS)技术上的实现优势，并对压力传感器SOI结构的实现工艺进行了探索性试验，完成了SOI压力传感器的设计和封装，在强调了压力传感器的测试方法的同时，对所设计的样品进行了测......
    10. 《压阻式压力传感器信号噪声比(SNR)的分析与提高》PDF+DOC 通过介绍压阻式压力传感器工作原理分析及噪声的主要起源，提出了针对不同噪声源(电噪声和外界电荷引起的非本征噪声)的解决措施，为将来针对高SNR的压力传感器设计提供参考依据。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。