《梳状栅两相CCD图象传感器》PDF+DOC
作者:贾鸿智,余国民
单位:中国航天科工集团公司第三研究院第八三五八研究所
出版:《红外与激光工程》1989年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHWYJ1989010080
DOC编号:DOCHWYJ1989010089
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本文分析了梳状栅 CCD 的工作原理,给出了计算机分析结果,报导了在高电阻率衬底上制作的 n 沟道 CCD 图象传感器。梳状栅 CCD 所使用的窄栅为3μm,栅间隙处注入了1×;10~(13)/cm~2的硼离子。无胖零条件下,电注入测试获得的转移效率η≥99.9%。
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