作者:张奇生,张仁杰 单位:上海理工大学 出版:《上海理工大学学报》1989年第04期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHDGY1989040120 DOC编号:DOCHDGY1989040129 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文通过对运算电容式传感器及铝氧化膜厚度测试的实验研究,分析了影响测试精度的主要因素,并给出了校正方法和实用测量模型。

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