《一种新型半导体气体传感器》PDF+DOC
作者:付敏恭,钟仕科
单位:中国化学会;中国科学院
出版:《应用化学》1985年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYYHX1985040150
DOC编号:DOCYYHX1985040159
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气体传感器的结构形式通常有接触燃烧型、陶瓷烧结型和气敏感场效应晶体管型等。陶瓷烧结型的传感方式是基于金属氧化物半导体(如SnO_2、ZnO和γ-Fe_2O_3)吸附气体分子后表面电阻发生变化的原理来实现的。 通常将氧化物与有机粘合剂混匀后塗在陶瓷管的表面,在高温下烧结成型。本试验采用真空镀膜法,在陶瓷管表面均匀地沉积一层金属Sn膜,然后将Sn膜氧化成SnO_2膜。这种膜均匀、牢固、敏感性能较好。实验表明,这是一种制作气敏元件的可行方法。
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