作者：孔祥戈 单位：国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版：《功能材料》1988年第05期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCL1988050090 DOC编号：DOCGNCL1988050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 简要介绍化学敏场效应管的一般原理，着重介绍用硅烷化反应在二氧化硅表面“嫁接”敏感薄膜的方法和工艺。该方法是制备离子敏场效应管栅极的一种比较理想的新方法。

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