《薄膜传感器与薄膜工艺》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《四苯基卟啉钴气敏元件的制备及性能》PDF+DOC 以四苯基卟啉为原料，制备了四苯基卟啉钴化合物，实现了对乙醇气体的检测，通过核磁1HNMR、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、FTIR、UV-vis等对其进行了表征。利用旋转甩涂法制备了四苯基卟啉钴薄膜/K+交换玻璃光波导传感元件，并用其对多种气体进行了检测。结果表明：敏感元件对乙醇气体具有较好的......
2. 《Sn掺杂对MOCVD—Fe_2O_3薄膜型气敏元件的影响》PDF+DOC 本文以四甲基锡为掺杂源，用MOCVD技术在小瓷管上沉积了Sn掺杂的Fe_2O_3薄膜。Sn的掺杂保持了Fe_2O_3薄膜原有的气敏规律和快速响应特性，却使元件的电阻碍以降低。同时抑制了薄膜中颗粒的生长，提高了元件的长期稳定性。...
3. 《离子束溅射生成气敏膜的研究》PDF+DOC 本文对离子束溅射生成气敏膜作了研究.与烧结陶瓷气敏传感器比较，溅射生成气敏膜对乙醇气体具有灵敏度高，长期稳定，对其它气体选择性好，而且响应恢复时间快.采用X光衍射等手段分析离子束溅射膜的品质，表明材料组织结构相同，与基片附着性好，组织致密。...
4. 《ZnO薄膜乙醇气体传感器》PDF+DOC ZnO 薄膜乙醇气体传感器由 ZnO 气敏薄膜元件和加热器组合而成。其 ZnO 薄膜采用直流磁控反应溅射在高铝瓷基片上淀积而成。膜内掺人定量的稀土元素催化剂做成层状结构以改善器件的灵敏度和选择性。该气敏元件封装于由Φ8mm 的四引出脚管座内，使用方便可靠，...
5. 《薄膜预热电解式湿度传感器》PDF+DOC 微电子技术的发展，使得半导体和薄膜工艺可以用于制造能在很大程度上满足现代湿度和温度测量要求的微型湿度计和温度湿度计。微型湿度计的主要优点是：尺寸小、灵敏度高、快速性好、结构简单、制造工艺性好、价格低廉。...
6. 《利用磁控溅射仪制作平面薄膜型H_2S硅微传感器》PDF+DOC 通过反应溅射 ，以硅基片 (表面上有白金加热电极 )为基底制作H2 S薄膜气敏元件 .实验表明 ，纳米SnO2 对H2 S具有较高的敏感度 ，对干扰气体的选择性较好...
7. 《厚膜氢气传感器设计》PDF+DOC 报道了一种基于厚膜工艺的氢气传感器。首先采用丝网印刷工艺制作铂加热器线条，再在其上面分别覆有纳米催化剂/氧化铝形成气敏元件、涂覆纳米氧化铝构成补偿元件，最后制成氢气传感器。测试结果表明：传感器灵敏度大于21 m V/1%H2，响应时间小于30 s，非线性和重复性优于2%。...
8. 《薄淀积膜压阻系数π∥π⊥测量》PDF+DOC 半导体薄膜开始用于力敏器件，评价薄膜自身的压阻特性是十分重要的。但迄今报导的参数，通常是薄膜与基片粘附成一体的复合样品测量值，原因在于膜薄难剥，剥离之后测量也不易。建立等效模型，提出新的计算式，以便在基片淀积膜之前和之后，只作常规ε、Ｅ等测量，通过计算就可得到纯薄膜的压阻特性各参数，包括Ｋ、Ｋ、π、......
9. 《具有广泛应用潜力的L-B膜》PDF+DOC L-B膜是Langmui-BLodgelt膜的简称它是一种几乎没有缺陷的单分子层膜；膜薄数埃至数十或数百埃(可以通过复合的层数加以控制)；并具有高度的各向异性的层结构。利用这种L-B膜技术可以把紧密排列的单分子膜逐层转移到固体基片上，从而实现分子的有序排列组合。这样可以对薄膜的结构和性质在分子水平上......
10. 《智能传感器技术问题研究》PDF+DOC 智能传感器已成为当今传感器技术的一个主要发展方向。智能传感器首先借助于其传感单元，感知待测量，并将之转换成相应的电信号。该信号通过放大、滤波等调理后，经过A/D转换，接着基于应用算法进行信号处理，获得待测量大小等相关信息。然后，将分析结果保存起来，通过接口将它们交给现场用户或借助于通信将之告知给系统......