作者：王化祥 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》1988年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB1988050040 DOC编号：DOCZDYB1988050049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 目前，国内生产的扩散硅压力传感器的硅膜片大多数为圆形膜片。然而，同圆形膜片相比，方形和长方形膜片不仅具有更高的灵敏度，而且给膜片的加工制造带来了方便。下面具体分析三种形状膜片在均布压力作用下其最大应力分布。 1.圆形膜片在均布压力作用下，圆形硅膜片弹性曲面所满足的微分方程为 l/r d/(dr){rd/(dr)[l/r d/(dr)(r(dω)/(dr))]}=q/D (1)式中，ω为膜片挠度；q为膜片承受的均布压力；D为膜片的弯曲刚度，D=Eh～3/12(1-μ～2)；h为膜片的厚度；E为膜片材料的杨氏模量；μ为材料的泊桑比。

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