《压阻式微型压力传感器微型化限制因素的研究》PDF+DOC
作者：吴宪平,鲍敏杭
单位：中国微米纳米技术学会;东南大学
出版：《传感技术学报》1988年第01期
页数：9页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFCGJS1988010030
DOC编号：DOCCGJS1988010039
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本文初步探讨了对压阻式传感器的微型化起限制作用的多种因素：根据(100)晶面硅片各向异性腐蚀的特点，得出了器件芯片最小尺寸与硅片厚度的关系；根据方膜和矩形膜上应力分布曲线，得出了在一定的图形位置偏差下压力灵敏度与硅膜几何尺寸的关系曲线；讨论了硅片厚度均匀性与力敏电阻尺寸对器件总尺寸的限制作用，比较了全桥结构和横向压阻X型结构对器件几何尺寸的要求。最后介绍了两种实用的微型压力传感器设计与其主要技术参数。
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