作者：沈桂芬,杨学昌,张九惠 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1988年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1988040010 DOC编号：DOCYBJS1988040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文讨论了用作微量程压力传感器研制中的各向异性腐蚀技术的机理，介绍了用P-ED腐蚀液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的结果。通过实验，提供了该腐蚀技术的最优化方法并对实验结果进行了分析。

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