作者：蔡春荣,韩少凤,张祖荫 单位：华南师范大学 出版：《华南师范大学学报(自然科学版)》1988年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHNSF1988020110 DOC编号：DOCHNSF1988020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 硅扩散型压力传感器件自70年代问世以来，由于它有诸多优点，受到许多技术先进国家的重视.本文着重介绍作者所做的工作，即扩散型压力敏感元器件的特点、压力效应、圆片应力分析、制造的关键工艺和敏感元器件的结构设计及其应用，并提出对今后研究发展的见解。

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