作者：石淼森 单位：西北工业大学 出版：《机械科学与技术》1986年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXKX1986060040 DOC编号：DOCJXKX1986060049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 前言将微位移或微间距等物理量转换成气动参量(压力P、流量Q)的元件称谓气动传感器。通常这些微量是用机械式量具来检测的，但测量精度不高，当采用气动传感器作为探头，并组成一套气动测量系统(方框图见图1)后，可以实现精密测量，实验表明，气动传感器能够分辨0.1μ的位移量。气动测量仅有几十年的发展史。它由低压式[测量介质空气的压力为(0.03～0.12)&#215；10~5P_a]测量发展到高压式[(0.5～3.5)&#215；10~5P_a]测量；由单参数测量发展到多参数测量；由静态测量发展到动态测量；由单一的气动量仪发展到气动与机械、光学、电

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