作者：曲伟峰,孙惠明,唐省吾,李可为 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1989年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1989040110 DOC编号：DOCCGJS1989040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用晶体振荡器内晶振子上沉积物质后会产生频偏的原理，制成镀膜工艺过程中膜厚监控仪的商品已早问世。但作为气敏元件却是目前掘起的较新方法，它已被应用于分析化学和环保监护等领域中。 晶振子型气敏传感器探头结构是在晶振子上涂覆具有吸气特性膜层，一般厚度约为100nm。如果涂覆亲水性膜，则可成为湿敏元件等等。振荡频率为15MHz时，其灵敏度一般可达2600Hz/μg。很明显，它的极限感量为晶体振荡器频率稳定度和检测器的频率分辨力所决定。 晶体振荡器内晶振子上沉积物质后，因质量增加，会产生频偏。其间关系，从机电类比原理导得如下表达式

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