《静电封接技术在硅压阻传感器中的应用》PDF+DOC
作者:乔景庄
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1986年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1986010060
DOC编号:DOCCGQJ1986010069
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本文论述了绝缘体——导体密封焊接的基本原理和方法:给出了玻璃——硅的封接:玻璃——SiO_2层的封接和硅——硅封接中相应的封接电流,封接温度,封接电压和衬底制备等工艺参数,论述了其中存在的问题及注意事项,指明了有无微导通现象是封接成败的关键因素。
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