作者: 单位:北京长城航空测控技术研究所 出版:《测控技术》1989年第03期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFIKJS1989030150 DOC编号:DOCIKJS1989030159 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 采用扩散型半导体压力传感器(下面简称扩散型压力传感器),可较方便地将流体压力转换成电量。在几毫米见方的硅片上,按桥式配置扩散电阻,当压力施加在硅片上时,电阻就发生变化。扩散型压力传感器,就是利用这种压阻效应,将压力转换为电量的元件。硅片的厚度腐蚀成几十纳米,根据厚度及其它因素来决定额定压力。由于额定压力较小,为10kg/cm~2,而且大都只使用非腐蚀性气体,所以往往用在气体压力有关的测量上。当额定输出达100mV时,输出比采用老的应变片之类的方法大几倍到十几倍,既使不采用特殊的电路,只使用通用运算放大器,也是很实用的。由于扩散型压力传感器通常易受温度的影响,所以有时在外部电

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