《简易压力计电路》PDF+DOC
作者:
单位:北京长城航空测控技术研究所
出版:《测控技术》1989年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFIKJS1989030150
DOC编号:DOCIKJS1989030159
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《基于应变片压阻效应的柔性传感器阵列的设计》PDF+DOC2017年第07期 肖立志,郭兰申,张磊
《基于扩散硅压阻压力传感器的压差测量》PDF+DOC2020年第04期 赵松玲,韩昕彤,桑艺珂
《MOS力敏运算放大器》PDF+DOC2001年第08期 岳瑞峰,刘理天,李志坚
《硅扩散型半导体传感器光刻掩模设计》PDF+DOC1992年第01期 曹洪倩
《半导体压力传感器》PDF+DOC1986年第04期 洪永根
《压力变换器电路》PDF+DOC1987年第05期 张青林
《一种利用机械共振原理的新型压力传感器》PDF+DOC1979年第04期 黄美超
《YC-200型扩散硅固态压力传感器》PDF+DOC1980年第03期 范正田
《扩散型固体压力传感元器件国外概况》PDF+DOC1980年第02期 夏姿
采用扩散型半导体压力传感器(下面简称扩散型压力传感器),可较方便地将流体压力转换成电量。在几毫米见方的硅片上,按桥式配置扩散电阻,当压力施加在硅片上时,电阻就发生变化。扩散型压力传感器,就是利用这种压阻效应,将压力转换为电量的元件。硅片的厚度腐蚀成几十纳米,根据厚度及其它因素来决定额定压力。由于额定压力较小,为10kg/cm~2,而且大都只使用非腐蚀性气体,所以往往用在气体压力有关的测量上。当额定输出达100mV时,输出比采用老的应变片之类的方法大几倍到十几倍,既使不采用特殊的电路,只使用通用运算放大器,也是很实用的。由于扩散型压力传感器通常易受温度的影响,所以有时在外部电
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