作者：张久惠,沈桂芬,杨学昌 单位：辽宁大学 出版：《辽宁大学学报(自然科学版)》1988年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLNDZ1988030050 DOC编号：DOCLNDZ1988030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文分析了压阻式扩散硅压力传感器的设计原理：对微压传感器的关键问题提出了各向异性腐蚀，掺高浓度硼停止腐蚀；用E型杯代替C型杯的设计，初步研制了量程小于1000mm水柱高，精度小于0.5%的微压传感器。

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