作者：邵丙铣 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1986年第02期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB1986020020 DOC编号：DOCYQXB1986020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文提出了一种低失调电压的硅膜集成压力传感器，它具有二极管电桥、固定电容与参考电容以及内部调整电阻。参考电容与调整电阻串联(应用JFET代替电阻)，后者可由改变电压而改变。本文推得了在此形式下的输出电压与外界压力的关系式。理论计算和实验结果都表明：靠改变外加电压以改变阻值可将集成电容压力传感器的失调电压减小到接近于零。文中也详细简述了设计原则和制备工艺。

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