《法国激光远紫外投影光刻,光纤传感器简介—访法英、西德见闻之二》PDF+DOC
作者:陈宗锡
单位:中国仪器仪表协会上海光学仪器研究所
出版:《光学仪器》1985年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXYQ1985030090
DOC编号:DOCGXYQ1985030099
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本文着重介绍了法国汤姆逊公司激光远紫外投影光刻的试验工作和法国光学研究所在光纤传感器方面的研究工作。
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