作者：K.E.B.Thornton,葛楚鑫 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1989年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1989040170 DOC编号：DOCXDJL1989040179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 1.引言近几年来，一种新型的超小型谐振传感器已引起人们的很大兴趣，它们是用光来激励起横向振动的，也是光问答的。这类谐振结构是采用标准工艺，包括光刻和湿法刻蚀，在硅片上制作的。借助于光强度调制的半导体激光器，对谐振结构用光激励起在其固有谐振频率下的振动。该振动频率不仅取决于谐振结构的

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