作者：张佐兰,田耘,简耀光 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1989年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1989010060 DOC编号：DOCCGQJ1989010069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 一、引言固态传感器的微结构通常用化学腐蚀法获得，如，薄膜、埋层和悬板等。传感器输出电讯号的灵敏度与机械应力或信号源的变化有关，而这种变化又依赖于薄膜厚度。所以厚度的精确控制对器件性能的影响是十分重要的。

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