《半导体压力传感器的膜片设计分析》PDF+DOC
作者:沈桂芬,王正荣,张九惠
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1988年第05期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1988050050
DOC编号:DOCCGQJ1988050059
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一、引言 随着微电子技术的发展,对半导体压力传感器的灵敏度、选择性、精度、稳定性、可靠性等方面提出了更高的要求。因此设计一种理想的膜片是提高压力传感器质量和性能的关键。本文分析了影响半导
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