作者:李秉臣,毕可奎,李建中,楼章和,李国花 单位:中国仪器仪表学会 出版:《化学传感器》1987年第02期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHXCH1987020110 DOC编号:DOCHXCH1987020119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《SnO_2非晶薄膜的敏感特性及其机理研究》PDF+DOC1998年第11期 王雅静,戴国瑞,姜月顺,李铁津 《SnO_2超微粒薄膜多功能气体传感器》PDF+DOC1992年第02期 曲喜新,严康宁,张鹰 《超微粒SnO_2薄膜器件气敏特性的研究》PDF+DOC1992年第06期 宁建华,朱秉升 《相空间中稀土La~(3+)掺杂的单片SnO_2纳米带的气敏特性研究》PDF+DOC2015年第21期 吴月梅,刘应开,张恒,马蒋,李双会,秦昭君,陈伟武,龚乃良,艾鹏 《粉末溅射平面薄膜型SnO_2/CeO_2酒敏传感器》PDF+DOC1996年第05期 李建明,刘文利,裘南畹,吕红浪 《SnO_2—ZnO半导体陶瓷气敏特性的研究》PDF+DOC1988年第01期 鲍凤歧,金国骍,王之义,季秉厚,张存生,邹德长,赵春光 《贵金属对SnO_2气敏元件特性的影响》PDF+DOC2005年第01期 吴江春 《自组装型SnO_2纳米线超低浓度H_2传感器的研制》PDF+DOC2008年第06期 王冰 《SnO_2纳米棒CH_4传感器的自组装研究》PDF+DOC2008年第07期 王冰,徐平 《纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展》PDF+DOC 戴正飞,李越,蔡伟平
  • 所研制的平面型SnO_2微型传感器是用射频溅射制备超微粒SnO_2膜,和常规的硅平面工艺制作加热器和温度检测器,二者相容集成而制作的气敏器件。用AES、ESCA对SnO_2膜进行了分析,结果表明膜中并没有分离的Sn的成分。利用SnO_2膜接触不同气体表面电导会发生变化的特点,对器件进行了气敏特性测试分析。结果表明:SnO_2膜和Pd/SnO_2膜在200℃~300℃工作温度下对CH_4、CO、H_2、NO_2和H_2S等气体均有明显的敏感特性。当SnO_2膜表面掺入几十埃的Pd后,对上述气体

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