《平面型SnO_2微型传感器》PDF+DOC
作者:李秉臣,毕可奎,李建中,楼章和,李国花
单位:中国仪器仪表学会
出版:《化学传感器》1987年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHXCH1987020110
DOC编号:DOCHXCH1987020119
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所研制的平面型SnO_2微型传感器是用射频溅射制备超微粒SnO_2膜,和常规的硅平面工艺制作加热器和温度检测器,二者相容集成而制作的气敏器件。用AES、ESCA对SnO_2膜进行了分析,结果表明膜中并没有分离的Sn的成分。利用SnO_2膜接触不同气体表面电导会发生变化的特点,对器件进行了气敏特性测试分析。结果表明:SnO_2膜和Pd/SnO_2膜在200℃~300℃工作温度下对CH_4、CO、H_2、NO_2和H_2S等气体均有明显的敏感特性。当SnO_2膜表面掺入几十埃的Pd后,对上述气体
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