作者：陈祖亮 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》1987年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB1987030160 DOC编号：DOCZYQB1987030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 今天，测定化学量的微型传感器的进展应归功于微型平版印刷技术。采用这一技术，可制出多种类型的固态化学敏感元件。这一技术亦可用于制造微处理器和其他集成电路芯片。化学敏场效应管化学敏场效应管(CHEMFET)，或离子敏场效应管(ISFET)的结构如图1所示。电压施加在源极、漏极两端点上，电源的大小由栅极调节。在通常的场效应管

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