《用于半导体材料及器件特性测量的微波光传感器》PDF+DOC
作者:周华
单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国物理学会液晶分会;中国光学光电子行业协会液晶分会
出版:《液晶与显示》1986年第03期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYJYS1986030240
DOC编号:DOCYJYS1986030249
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这种测量方法涉及到微波与光感载流子之间的相互作用及由此而产生的能量传递。这种能量传递可以为测试信号提供无触点通道。简而言之,这是一种类似于雷达的测试方法,即反射信号受光的影响。用此种方法有三种测试可能性。1.使用瞬时激光脉冲进行时间分辨的测量。2.位置分辨的测量,进行这种测量时激光束在半导体材料(如微型芯片)表面上扫描。
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