作者：秦秋石,刘通 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1987年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1987030030 DOC编号：DOCYBJS1987030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、引言 扩散硅固态压力传感器，由于体积小、重量轻、精度高、动态响应快而广泛使用于宇航、化工、气象、水文、航海和工业系统中。但是由于这种传感器是采用扩散法，在半导体衬底上做电阻，采用p-n结隔离，故

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