作者：L·S·Tanwar,H·Kunzmann,白德开 单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版：《光电工程》1985年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGC1985040090 DOC编号：DOCGDGC1985040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了基于光学三角测量原理而研制的新型非接触电一光传感器。这种传感器对抛光平面位移显示了最大的灵敏度，其分辨率达到了0.01微米。它对弯曲和粗糙表面的位移灵敏度也很好。文中所叙述的实验装置提供了&#177；75微米的线性范围，如果需要，通过改变传感器的光学参数，还可将这个范围扩大。

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