《多晶硅薄膜压阻器件》PDF+DOC

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2. 《多晶硅敏感技术(连载五)》PDF+DOC 6 多晶硅压力传感器 近些年来，随着多晶硅薄膜地深入研究，以在绝缘层上生长多晶硅薄膜(SOI)制作应变电阻器为敏感元件的压力传感器，其优越性已被广大研究者和生产部门所认可。 ①具有较大的压阻效应，最大值可达单晶硅的70％；并呈良好的线性。...
3. 《多晶硅敏感技术(连载六)》PDF+DOC 6.4.2金属衬底的多晶硅压力传感器 单晶硅弹性膜片在直接与被测介质接触时抗冲击性差、不利于测量有腐蚀性介质的压力，且大面积单晶硅弹性膜片的成本也大。因此在特定场合用金属薄板作弹性膜片更为有利。...
4. 《多晶硅高温压力传感器》PDF+DOC 一、前言 现代航空、汽车发动机以及石油化工领域常常需要对200℃以上高温范围的压力进行检测。200℃以上温度工作的高温压力传感器一般可采用SOS或绝缘衬底上多晶硅结构制作，因为多晶硅薄膜压阻元件可淀积在各种低成本衬底上，而且工艺简...
5. 《具有500倍保护的单晶硅压力传感器》PDF+DOC 具有单晶硅薄膜的标准压阻硅压力传感器通常在不到满量程10倍的压力下损坏，通过采用在薄膜正下方加上停止面，我们制造了具有500倍过量程保护的传感器.这些传感器完全由单晶硅采用硅键合技术形成.在低的压力下，芯片灵敏度高达3mv/m/psi，设计成在10psi时输出100mv的传感器在过压力达5000ps......
6. 《横向压阻型压力传感器及其临床应用》PDF+DOC 横向压阻型压力传感器是一种新型的半导体压力传感器。它的灵敏度与一般通用的压阻全桥型压力传感器相当，但具有尺寸小，失调小，稳定性好等优点。本文除介绍横向压阻效应的基本原理和横向压阻型压力传感器的结构外，也介绍PT-6横向压阻型压力传感器的特性。该器件的灵敏度约为100μv/mmHg，频响约为O-300......
7. 《压力传感器新工艺及其动向》PDF+DOC 一、前言 硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的一种新型压力传感器。这种压阻效应早在三四十年代已被发现，但由于涉及到各种技术问题，特别是半导体工艺和集成电路工艺问题所以一直得不到发展，到了航空测试设备发展受到传感器影响时，这一问题又引起国际航空界人士的重视。此后，人们对半导体锗和硅的...
8. 《单晶硅微压传感器的研制》PDF+DOC 风洞测压及实现自动检测、自动控制，急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高，适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标，着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。...
9. 《单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法》PDF+DOC 介绍了单晶硅压力传感器温度漂移的机理，阐述了采取串并联电阻网络和有源电路分段等综合补偿方法的补偿原理。实验结果表明：在-45~85℃温区内，补偿后，热零点漂移和热灵敏度漂移从&#177；0.5%FS/℃提高到&#177；0.014%FS/℃。...
10. 《压阻式压力传感器信号噪声比改进研究》PDF+DOC 通过介绍压阻式压力传感器工作原理，分析噪声的主要起源，提出了针对不同噪声源(电噪声和外界电荷引起的非本征噪声)的解决措施，为将来针对高SNR的压力传感器设计提供参考依据。...