作者:张恒甫 单位:中国航天科技集团公司第五研究院510研究所 出版:《真空与低温》1985年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZKDW1985010020 DOC编号:DOCZKDW1985010029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 一、前言作者过去曾在有关学术会议介绍过一种小型电感式位移传感器。这种传感器对微型致冷机的位移测量是比较合适的,它的精度和量程等指标也能满足一般微型致冷机对位移测量的要求,而且测量线路简单,成本低。例如对12毫米位移量的测量,保证最大非线性误差在±1%左右的精度之下,传感器外型的轴向尺寸只有40毫米,径向尺寸为10毫米,便于满

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