作者：黄鸿雁 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1986年第02期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1986020030 DOC编号：DOCCGQJ1986020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 硅材料可分为单晶硅、多品硅和非晶硅。从结构上来说，单晶硅最简单，非晶硅最复杂。用这三种材料都可以制造压力传感器。这些压力传感器大致可以分成四种形式，即压阻式、电容式、MOS式和薄膜式。前三种主要以单晶硅制造，后一种主要以多晶硅和非晶硅制造。目前制造压力传感器仍以单晶硅为主，但从发展趋势来看似有向多品与非晶的薄膜式方向进展的势头。

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