作者：温殿忠 单位：黑龙江大学 出版：《黑龙江大学自然科学学报》1989年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLDZ1989010090 DOC编号：DOCHLDZ1989010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文提出了一种应用于生物医学的小型化压力传感器的设计原理。据此，提出了一种有良好工作稳定性及噪声性能的力学量敏感器件——结型场效应力敏传感器，该压力传感器采IC技术和硅各向异性腐蚀技术就可以制造出来。

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