作者：陈开富,季静 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1989年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1989020080 DOC编号：DOCCGQJ1989020089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 已经研制了具有电视质量标准的红外图像传感器，该传感器可在3～5μm红外波段区热成像，陈列尺寸为外512&#215；512像素，器件采用PtSi肖特基势垒光电探测器。为了获得大的占空系数，应用了电荷扫描器件(CSD)结构。该像素由两层多晶硅和两层铝构成，并具有最小设计基准为2μm。像素尺寸和占空系数分别为26&#215；20μm~2和30％。采用金属薄膜和光腔结构改善了器件的灵敏度，势垒高度为0.22eV时，相应的截止波长约为5.6μm。器件以标准电视帧频工作。借助于微粒噪声探测器，在300K时该器件噪声被限制在f/1.5光学范围内，器件的温度差分辨能力约为0.11K。使用该器件已经制作了典型的红外电视摄像机，并获得了高质量的红外图像。

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