《压阻式绝对压力传感器的研制》PDF+DOC
作者:张秀珍,赵忠富,武树岭
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1989年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1989020070
DOC编号:DOCCGQJ1989020079
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压阻式绝对压力传感器是利用单晶硅的压阻效应,在周边固支的圆型膜片上采用半导体平面工艺,在晶片特定的方向和位置上制成电阻并组成全桥电路,最后通过静电封接技术形成真空腔制成。
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