《横向电压型压力传感器电极短路效应》PDF+DOC
作者:齐薇佳,鲍敏杭
单位:复旦大学
出版:《复旦学报(自然科学版)》1988年第01期
页数:9页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFFDXB1988010100
DOC编号:DOCFDXB1988010109
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通过对横向电压型压力传感器上电势分布的数值分析得到了在各种器件几何尺寸情况下,电源电压、引出臂和输出电极的短路作用对灵敏度以及线性度的影响,提出了器件几何图形的最优化设计。
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