作者：傅敏恭 单位：中国仪器仪表学会 出版：《化学传感器》1987年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHXCH1987030000 DOC编号：DOCHXCH1987030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 由于半导体离子传感器(简称ISFET)容易实现微型化、集成化和多功能化，因而受到电化学、固体物理学以及生物医学界的关注。有关这种传感器的一般制作与应用在国内外已有较多的报导。同时，在研制ISFET器件时，由于MOS管的平面工艺也较成熟，因此，作为化学传感器来说，敏感膜的制作技术和膜的敏感机理就成为重要的课题，这也是本文叙述的重点。

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