作者：昌驰,朱革,付敏,姜林言 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2016年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2016020350 DOC编号：DOCCGQJ2016020359 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现制造成本低、易加工、高精度的位移测量，设计了一种光场耦合式的时栅位移传感器。介绍了利用基于交变光场的两路驻波合成电行波信号，并通过鉴相的方式实现空间位移转换的测量原理；完成了传感器的结构设计，给出了传感器的系统框图，具体分析了信号处理电路的功能。实验结果表明：光场耦合式的时栅位移传感器在108 mm范围内误差为&#177；0.5μm。

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