作者：周斌,黄文俊,何野,魏同立 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》1988年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ1988040130 DOC编号：DOCGTDZ1988040139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、引言 多晶硅作为一种压阻材料，可以通过化学汽相淀积工艺淀积在陶瓷，玻璃，SiO_2，Si_3N4等绝缘材料上，从而制造出一种SOI结构的压力传感器，选种特性为高温压力传感器和更为灵敏的触敏传感器提供可靠的工艺基础。 多晶硅压力传感器避免了扩散型压力传感器的pn结漏电问题，展宽了器件的工作温度范围，高温可达200℃。同时多晶硅电阻的温度系数随掺杂浓度可调，在一定掺杂水平可制造

    📙 相关资料

    1. 《微型压阻式压力传感器的研制》PDF+DOC 用微机械加工技术开发出一种微型方杯压阻式压力传感器。文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感器的参数。测试结果表明该传感器的主要性能已达到国内先进水平。...
    2. 《SG系列扩散硅固态压力传感器》PDF+DOC ＳＧ系列扩散硅固态压力传感器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信供稿１概述ＳＧ系列扩散硅固态压阻压力传感器是沈阳仪器仪表工艺研究所开发的新一代的压力测试、控制用传感器，它同以往的产品相比，具有灵敏度高、精度高、便于远传和体积小等优点。特别是随着计算机技术的发..。...
    3. 《具有500倍保护的单晶硅压力传感器》PDF+DOC 具有单晶硅薄膜的标准压阻硅压力传感器通常在不到满量程10倍的压力下损坏，通过采用在薄膜正下方加上停止面，我们制造了具有500倍过量程保护的传感器.这些传感器完全由单晶硅采用硅键合技术形成.在低的压力下，芯片灵敏度高达3mv/m/psi，设计成在10psi时输出100mv的传感器在过压力达5000ps......
    4. 《多晶硅压阻式压力传感器》PDF+DOC 本文叙述一种新型的压力传感器——多晶硅压阻式压力传感器。这种传感器以单晶硅为衬底材料，多晶硅电阻条构成惠斯通桥路，二者之间用介质隔离。器件的背面通过对单晶硅的腐蚀制成应力腔。与单晶硅器件相比，这种器件最突出的优点是不用pn结隔离，因而可把工作温限由130℃提高到200℃。通过对多晶硅生长条件及掺杂的......
    5. 《横向压阻型压力传感器及其临床应用》PDF+DOC 横向压阻型压力传感器是一种新型的半导体压力传感器。它的灵敏度与一般通用的压阻全桥型压力传感器相当，但具有尺寸小，失调小，稳定性好等优点。本文除介绍横向压阻效应的基本原理和横向压阻型压力传感器的结构外，也介绍PT-6横向压阻型压力传感器的特性。该器件的灵敏度约为100μv/mmHg，频响约为O-300......
    6. 《压阻型地面气压传感器研制中的几个问题》PDF+DOC 本文主要讨论气压传感器的长期稳定性和精度，找出了该器件不稳定的主要原因，导出了保证年稳定性的必要条件，提出了不牺牲灵敏度而能提高精度的分段处理方法。...
    7. 《硅压阻压力传感器的近况和应用》PDF+DOC 硅具有显著的压阻效应，是制造硅压阻压力传感器的理想材料.用硅制成的压力传感器具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型化和进行批量生产、使用方便等特点.本文综述硅压阻压力传感器的最近发展，产品制造用的新技术、性能特点、发展水平；概述硅压阻压力传感器的应用，并对我国硅压阻......
    8. 《用然纳二极管测量动态压力传感器的可能性》PDF+DOC 关于液体静态压力的影响，根据然纳二极管的静态特性，在8000和20000个大气压下进行过正向与反向的试验。因此指出了用经过适当选择电压或具有适当补偿系统的然纳二极管作液体静态压力传感器的可能性。在硅二极管的工作温度范围内(一60～150℃)，压力读数变化的温度系数接近于零。...
    9. 《单晶硅微压传感器的研制》PDF+DOC 风洞测压及实现自动检测、自动控制，急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高，适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标，着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。...
    10. 《压力传感器、变送器及其应用(下)》PDF+DOC ICS33型压力传感器是IC传感器公司的产品，测压范围从35kPa到1700kPa有7种规格，其主要性能如表4所示。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。