作者：童勤义,黄金彪 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》1987年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU1987010210 DOC编号：DOCDZXU1987010219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍了一种流量传感器新的工作原理：当流体流过加热的芯片时，为保持芯片温度恒定所需功耗的改变，可以用来作为流体速度的量度。本文用CMOS工艺首次实现了这种原理的集成流量传感器。该传感器结构简单、尺寸小(1&#215；1.9mm)，灵敏度高(在芯片温度55℃、流体温度30℃、流速50cm/s时，输出达80mW)。

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