《压力变送技术用的硅传感器》PDF+DOC
作者:Frank Buchy,徐起蛰
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1988年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL1988030170
DOC编号:DOCXDJL1988030179
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至少有六种检测压力变化的方法,但是,过程型压力变送器中的敏感元件通常是下列三者之一:变电容式、压阻式和谐振或线振式。其中,变电容式最普遍,其次是压阻式。压阻式传感器是一种扩散在硅晶上的应变
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