《CMOS 集成硅压力传感器特性的线性分析》PDF+DOC

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6. 《提高半导体压力传感器测量精度的有效措施》PDF+DOC 一、引言日本日立制作所从事半导体压力传感器的研制工作已经多年，它所研制的应变仪式传感器(SG传感器)是一种硅膜片式传感器。自1978年出售以来，几经改进，精度大有提高。通过应变仪的合理配置，可将非线性误差限制在最小范围之内，精度可高达&#177；0.2％以上。但在下面两种情况下非线性误差的影......
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