作者：高元恺,韩爱珍,卢钢,吴杰 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》1989年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ1989020110 DOC编号：DOCBDTJ1989020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新型电容式湿度传感器简介》PDF+DOC1996年第09期 邹德恕,王东风,高国 《新型聚酰亚胺电容式湿度传感器》PDF+DOC1992年第01期 邹德恕,王东凤 《基于纳米森林的电容式湿度传感器》PDF+DOC2020年第06期 陈贵东,石梦,毛海央,熊继军,陈大鹏 《PI电容湿度传感器的研制》PDF+DOC1999年第04期 吴正元,陈涛,陈萍丽 《带微机的湿度仪》PDF+DOC1993年第02期 纪宗南 《CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型》PDF+DOC2005年第07期 陈军宁,于峰崎,王阳,柯导明 《具有SiO_2绝缘层的硅基聚酰亚胺电容式湿度传感器的特性研究》PDF+DOC2003年第06期 谢琼,杨文,常爱民,康健 《电容式湿度传感器在汽–水系统中的静态响应特性分析》PDF+DOC2012年第26期 杜利鹏,田瑞峰,孙中宁,刘晓一 《一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器》PDF+DOC2014年第09期 曹新亮,黄宝瑞 《基于MEMS技术新型湿度传感器的研制》PDF+DOC2013年第09期 吴大军,唐祺,杨姗姗,温殿忠

    • 本文提出了一种以聚酰亚胺为介质膜的电容式湿度传感器.它的工作原理是，在不同的湿度环境下，聚酰亚胺—水系统介电常数改变引起传感器电容的变化.该传感器具有工艺简单、体积小、灵敏度高、响应快等优点.该文介绍了它的结构、制造工艺和试验结果。

    📙 相关资料

    1. 《新型电容式湿度传感器简介》PDF+DOC 本文介绍了一种新型高分子有机聚酰亚胺电容式湿度传感器的工作原理、简便标定方法及应用。...
    2. 《新型聚酰亚胺电容式湿度传感器》PDF+DOC 本文叙述了以聚酰亚胺为感湿膜的电容式湿度传感器的结构及制备工艺，研究了它的湿敏特性，概述了工作原理。...
    3. 《基于纳米森林的电容式湿度传感器》PDF+DOC 提出了一种基于纳米森林的电容式湿度传感器。该湿度传感器利用等离子体技术制备的纳米森林作为湿度敏感层，湿度敏感范围为30%RH～90%RH，且在大于60%RH的湿度范围内灵敏度达到1.87 pF/%RH，同时响应和恢复时间分别约为3.2 s和6 s。当传感器置于湿度环境中时，吸收在纳米森林表面并凝结在......
    4. 《PI电容湿度传感器的研制》PDF+DOC 采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜，以铬、金为电极的电容式湿度传感器．给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理．测试结果表明：在相对湿度ＲＨ为０～９６％范围内Ｃ～ＲＨ曲线线性度良好，灵敏度为ＲＨ变化１％，电容变化０．１５～０．１７ｐＦ，该种湿度传感器的ＲＨ长期稳定性为......
    5. 《带微机的湿度仪》PDF+DOC 介绍一种以单片机为基础的湿度仪的原理、线路和软件设计。指出该仪器由于采用聚酰亚胺(PI)电容湿度传感器，所以具有分辨率高(达0.1%RH)，线性好和对环境温度灵敏度低等优点。...
    6. 《CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型》PDF+DOC 对一种与CMOS工艺兼容的电容型湿度传感器进行了理论推导，物理建模和模拟仿真.该湿度传感器是采用梳状铝电极结构，聚酰亚胺作为感湿介质.通过分析感湿介质的介电常数吸附水分后的变化，考虑其电场分布，对电容型湿度传感器的理论模型进行了研究和模拟.利用Matlab软件对理论模型进行仿真，结果表明所建模型比通......
    7. 《具有SiO_2绝缘层的硅基聚酰亚胺电容式湿度传感器的特性研究》PDF+DOC 传统夹层聚酰亚胺电容式湿度传感器在亚胺化过程中感湿膜会因挥发物产生微孔，对这种传感器的成品率造成很大影响。为此，从元件的结构入手，制作Si-SiO2-PI结构的湿度传感器，对该种传感器的特性进行了测试，并与传统夹层式结构的样品进行了对比。研究表明，Si-SiO2-PI结构的湿度传感器在同等测试条件下......
    8. 《电容式湿度传感器在汽–水系统中的静态响应特性分析》PDF+DOC 电介质的介电理论表明，同一压力和温度下的饱和水和饱和蒸汽，介电常数相差较大。基于此理论，该文利用电容法进行湿度标定实验研究，及对电容式湿度测量仪的静态特性进行分析。实验中采用向空气中喷雾化水滴的方式来模拟湿蒸汽，应用所设计的多电极同轴圆筒形电容传感器测量蒸汽湿度。测量电路以电容为测量参数，以电压为输......
    9. 《一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器》PDF+DOC 设计一种湿度传感器。该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质，采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度，以电荷转移电路为微电容测量电路，用0.35μm多晶硅栅进行设计，形成单片集成湿度传感器。整个组成电路均与CMOS工艺兼容。仿真结果表明：在测量激励方波激励下，片上湿度传感器在27℃下模拟显示出较好的......
    10. 《基于MEMS技术新型湿度传感器的研制》PDF+DOC 描述了新型金属-Al2O3-PI-金属电容式湿度传感器的结构及工作原理，利采用Matlab软件模拟了介电常数和湿度的关系，采用MEMS技术制造了新型湿度传感器，设计了测试方案，测量和分析了该新型湿度传感器的灵敏度特性和迟滞特性，分析了测试数据产生偏差的原因。测试结果显示，湿度传感器的灵敏度为单位湿度......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。