作者：黄鸿雁 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1987年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1987040110 DOC编号：DOCCGQJ1987040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文叙述了在较宽温区内硅压力传感器的非线性温度特性及新的灵敏度补偿方法。在-15～150℃温区内对几个表面杂质浓度测量了温度特性。灵敏度和阻值可以近似为温度的二次方程式。对于几个表面杂质浓度计算了线性温度项系数和平方温度项系数。研制成了一种温度补偿方法。补偿是利用有不同表面浓度的两个电阻器的线性温度项系数和平方温度项系数的结合方法进行的。通过电子计算机模拟验证了这种补偿方法，结果灵敏度误差为0.7％/200℃。

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