作者：S.Sugiyama,李华 单位：北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版：《仪器仪表与分析监测》1985年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQYB1985040100 DOC编号：DOCYQYB1985040109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS超薄动态压力传感器》PDF+DOC2016年第04期 王伟忠,张建志,何洪涛,杨拥军 《MEMS SOI高温压力传感器芯片》PDF+DOC2018年第11期 郭玉刚,饶浩,陶茂军,田雷,吴佐飞 《高精度扩散硅压力传感器的温度补偿》PDF+DOC1997年第04期 张秀珍,杨魁,马子龙 《SG系列扩散硅固态压力传感器》PDF+DOC1994年第04期 《补偿扩散硅压力传感器灵敏度温漂的新方法》PDF+DOC1992年第10期 胡贵池,范玉玲,倪礼真 《单块集成压阻式压力传感器》PDF+DOC1985年第05期 吴宪平,鲍敏杭 《压阻式压力传感器灵敏度与线性度的仿真方法》PDF+DOC2012年第02期 韩锐锐,张兆华,任天令,林惠旺,刘理天 《用BP神经网络法对压力传感器进行温度补偿》PDF+DOC2015年第01期 李佳君,卢文科 《集成压力传感器的精度计算(二)》PDF+DOC1984年第03期 钟读策 《SOI高温压力传感器的研究》PDF+DOC2006年第04期 张书玉,张维连,索开南,牛新环,张生才,姚素英

    • 研制出了一种同时具有“电压输出和频率输出的集成压阻压力传感器。利用标准双极集成电路工艺制成了具有尺寸3&#215；3.8mm~2的传感器芯片。对于从0到750MMHg的压力范围，输出电压工作幅宽为1到4伏。电压输出的压力灵敏度为4mv/mmHg。非线性度小于满量程的0.4％。对于750MMHg的压力变化，输出频率灵敏度约为30KHg。输出为T~2L电平。在-20到110℃的温度范围内灵敏度的温度系数为0.06％/℃。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS超薄动态压力传感器》PDF+DOC 针对高铁、飞机等高速运行设施对动态压力监测提出的要求，研制了一种压阻式微电子机械系统(MEMS)超薄动态压力传感器。采用有限元分析(FEA)软件ANSYS对5种压力传感器芯片结构进行了仿真对比分析，结合MEMS加工工艺，设计的传感器芯片采用线性好、灵敏度高、固有频率高的单岛膜结构。利用硅通孔(TSV......
    2. 《MEMS SOI高温压力传感器芯片》PDF+DOC 研制了一种基于微机电系统(MEMS)技术的压阻式绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器芯片。压力敏感电阻器与衬底之间采用二氧化硅介质隔离，解决了传统的PN结隔离方式在高温条件下的漏电失效问题。研制的高温压力芯片压力量程为0~2 MPa，室温1 m A条件下满量程输出信号达到100 m V以上，非线性小于......
    3. 《高精度扩散硅压力传感器的温度补偿》PDF+DOC 本文分析了扩散硅压力传感器的零点、零位温度系数及灵敏度温度系数三个基本参数并给出了温度补偿的计算公式。理论及实践均表明：采用此种方法补偿扩散硅压力传感器能满足高精度压力测量的要求。...
    4. 《SG系列扩散硅固态压力传感器》PDF+DOC ＳＧ系列扩散硅固态压力传感器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信供稿１概述ＳＧ系列扩散硅固态压阻压力传感器是沈阳仪器仪表工艺研究所开发的新一代的压力测试、控制用传感器，它同以往的产品相比，具有灵敏度高、精度高、便于远传和体积小等优点。特别是随着计算机技术的发..。...
    5. 《补偿扩散硅压力传感器灵敏度温漂的新方法》PDF+DOC 首先分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的影响，然后以恒压激励方式的典型补偿电路为例，通过推导，提出一种在桥路中串入电阻的补偿方法。经测试数据的比对，证明该补偿方法切实可行，提高了传感器的性能。...
    6. 《单块集成压阻式压力传感器》PDF+DOC 本文介绍一种由力敏电阻全桥和温度补偿的放大器电路构成的集成压力传感器。通过理论分析得到了(100)矩形硅膜的尺寸以及力敏电阻位置和尺寸的最佳化设计。通过对全电路温度系数的分析计算，找到了最佳的工作条件。该设计已由双极集成电路工艺和各向异性化学腐蚀工艺实现，制成了灵敏度达到1000μV/mmHg的集成......
    7. 《压阻式压力传感器灵敏度与线性度的仿真方法》PDF+DOC 灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器，必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法，从而实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计，......
    8. 《用BP神经网络法对压力传感器进行温度补偿》PDF+DOC 压阻型扩散硅压力传感器在测试压力时，容易受到环境温度的影响。为了消除温度所带来的影响，需要对压力传感器进行温度补偿。神经网络技术中的BP神经网络算法可以在压力试验中对压力传感器进行温度补偿。此方法将压力传感器和温度传感器所采集到的电压信号进行数据融合，削弱了温度对压力传感器所产生的干扰，补偿后比补偿......
    9. 《集成压力传感器的精度计算(二)》PDF+DOC 最大误差：情况1当使用全温度和全压力范围时，就会出现这种最大可能误差。在此温度条件下，将数据表误差乘以(T_(最大)-T_(基准))=(85℃-25℃)=60℃，将使每个温度系数误差转换成%FS，则...
    10. 《SOI高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍了SOI压力传感器的制作工艺，并且通过有限元软件对传感器输出特性进行模拟，模拟结果与实际测得结果是相符的。对SOI压力传感器测量结果表明，当温度增加到220℃传感器仍然能保持很好线性。另外对SOI压力传感器和多晶硅压力传感器进行比较，发现单晶硅SOI高温压力传感器灵敏度比多晶硅高温压力传感器灵敏......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。