《CMOS集成硅压力传感器》PDF+DOC
作者:T.Ishara,杨正中
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1988年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL1988050140
DOC编号:DOCXDJL1988050149
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1.前言硅片压力传感器是基于压敏电阻效应把所加流体压力转换为电信号。典型的是由薄的硅片和将杂质扩散到片上而制成的压敏电阻组成。对于这种型式的传感器,硅不仅用作扩散电阻的基底而且也是弹性材料。因为硅
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