《固态压阻压力传感器的设计与应用》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《SG系列扩散硅固态压力传感器》PDF+DOC ＳＧ系列扩散硅固态压力传感器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信供稿１概述ＳＧ系列扩散硅固态压阻压力传感器是沈阳仪器仪表工艺研究所开发的新一代的压力测试、控制用传感器，它同以往的产品相比，具有灵敏度高、精度高、便于远传和体积小等优点。特别是随着计算机技术的发..。...
2. 《多晶硅压力传感器温度自补偿性能研究》PDF+DOC 介绍了多晶硅压力传感器的温度特性．重点研究了ＬＰＣＶＤ&#183；Ｐｏｌｙ－Ｓｉ膜的掺杂浓度对传感器温度特性的影响．通过理论分析和实验研究，找到了实现传感器温度自补偿的最佳掺杂浓度值．获得了工作温度高、温度特性好的压力传感器．实验结果与理论分析相符．...
3. 《微型压阻式压力传感器的研制》PDF+DOC 用微机械加工技术开发出一种微型方杯压阻式压力传感器。文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感器的参数。测试结果表明该传感器的主要性能已达到国内先进水平。...
4. 《可在高温条件下工作的压力传感器》PDF+DOC 一、引言 扩散硅固态压力传感器，由于体积小、重量轻、精度高、动态响应快而广泛使用于宇航、化工、气象、水文、航海和工业系统中。但是由于这种传感器是采用扩散法，在半导体衬底上做电阻，采用p-n结隔离，故...
5. 《固态压阻传感器及其在海洋仪器的应用》PDF+DOC 本文简要介绍了国内外固态压阻传感器的发展概况，并着重指出应用这种体积小、精确度高的新型传感器测量海洋要素是海洋仪器传感器的重要发展方向之一。文章叙述了固态压阻传感器的结构特征。同时提出了利用这种传感器测量海洋波浪、潮汐和深度等方面的应用，并着重介绍了应用国产CYG20B型固态压阻传感器进行深度测量的......
6. 《单晶硅微压传感器的研制》PDF+DOC 风洞测压及实现自动检测、自动控制，急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高，适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标，着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。...
7. 《绝对式固态压力传感器》PDF+DOC 固态压力传感器具有许多优点，主要是灵敏度高、动态响应快、精度高、易于小型化等等。因此，目前在这几个方面发挥它的特长都取得了良好的结果。如国外小型固态压力传感器直径已达到φ0.8mm，扁平厚度达到 1mm；动态传感器其固有频率可达到1000KHz；高精度传感器已达到0.02%。国内也正向这几个方向发展......
8. 《文摘》PDF+DOC 0112 校正温度变化对电感式传感器的误差的影响——Correction for the effect of temperature changes on the...
9. 《高性能高温压力传感器》PDF+DOC 研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术：各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿。通过研 究四甲基氢氧化铵（ＴＭＡＨ）腐蚀液特性，及在不同腐蚀条件下硅杯表面状况，确定了制作高质量硅杯的工艺 条件。通过优化掺杂浓度，改善了传感器的温度特性，基本上实现自补偿。测试结果表明，多晶硅压力传感器 综合精度达０．ｌ％......
10. 《医用压力传感器原理及其应用》PDF+DOC 本文阐述了一种作为医用压力传感器的固态压阻式传感器的基本原理以及在医疗测量仪器设备中的应用和使用中的注意事宜 ，目的在于提高对医用传感器的认识 ，更好地利用高科技为医疗装备的发展服务...