《固态压阻传感器》PDF+DOC
作者:柳继昌
单位:北京京仪仪器仪表研究总院有限公司
出版:《仪器仪表与分析监测》1986年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQYB1986010030
DOC编号:DOCYQYB1986010039
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《介观压阻效应在微型传感器中的应用研究》PDF+DOC2008年第02期 王伟,温廷敦,许丽萍,张庆伟
一、引言所谓固态压阻传感器,即传感器的核心部分—传感元件,是一种扩散硅应变元件。该应变元件是采用集成电路的扩散工艺,把硼杂质掺入硅片而形成压敏电桥制成的。测量原理是利用压阻效应, 敏感元件受压时,电阻发生变化,输出电信号。早在1932年美国布利戈曼和阿朗就对晶体压阻效应发生兴趣,同年阿朗发表了铋单
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