作者：刘一声 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1989年第01期 页数：11页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1989010040 DOC编号：DOCYDSG1989010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文主要叙述采用RF反应离子镀、RF反应溅射、MOCVD和激光辅助蒸发等方法制备高度取向的ZnO薄膜。文章还介绍了ZnO薄膜在热电红外传感器、集成化学反应传感器、紫外光探测器，集成加速度计传感器和湿度传感器等方面的应用。

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