作者:杨北南 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》1986年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB1986020180 DOC编号:DOCYQXB1986020189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 溅射薄膜压力传感器是一种新型的应变式压力传感器。与其它应变式传感器相比,具有迟滞和蠕变小、长期稳定性好等优点。所研制的2CYJ型溅射薄膜压力传感器其精度可优于0.1%,个别指标,如重复性、迟滞可优于0.05%,工作温度范围为-55℃~+150℃。

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