《2CYJ型溅射薄膜压力传感器》PDF+DOC
作者:杨北南
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》1986年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB1986020180
DOC编号:DOCYQXB1986020189
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溅射薄膜压力传感器是一种新型的应变式压力传感器。与其它应变式传感器相比,具有迟滞和蠕变小、长期稳定性好等优点。所研制的2CYJ型溅射薄膜压力传感器其精度可优于0.1%,个别指标,如重复性、迟滞可优于0.05%,工作温度范围为-55℃~+150℃。
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