《用偏振干涉仪检定0.01μm位移传感器的初步试验》PDF+DOC
作者:戴润生,王益民
单位:中国计量科学研究院
出版:《计量科学与技术》1985年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLJS1985030100
DOC编号:DOCJLJS1985030109
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一、偏振干涉仪法的测量原理传感器的检定是将传感器的测杆与干涉仪的可动镜接触,将由干涉仪测得的可动镜实际移动的距离与由传感器测得的移动距离比较,就得到传感器的示值误差。因此,检定装置的关键是其精度和分辨率高于传感器的干涉仪。干涉仪的光路图见图1,从激光器发出的线偏振光与偏振分光镜的水平轴成45°;角的方向入射,经偏振分光镜分成S光和P光,分别经参考镜和可动镜反射后,再次在偏振分光镜处会
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