作者：杨双林 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1985年第05期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1985050150 DOC编号：DOCYBJS1985050159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 前言过去，半导体器件制造厂家使用的砷化氢、磷化氢气体检测器大部分是化学发光、原子吸光、火焰亮度、光离子等光学方法的检测器。最近，日本开发了叫做隔膜电极法的电化学气体传感器，用于砷化氢和磷化氢气体以及可燃性气体等。在选择检测有毒气体的允许浓度时，采用隔膜电极法的电化学气体传感器比半导体气体传感器性能要佳。一、隔膜电极法传感器种类及用途隔膜电极法传感器种类分： (1)离子电极法(电位检测型)； (2)恒电位电解法(电流检测型)； (3)伽伐尼电池法(电流检测型)。

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