《工业计测用半导体离子传感器》PDF+DOC
作者:勝部昭明,徐清发
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1985年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL1985060220
DOC编号:DOCXDJL1985060229
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随着半导体集成电路为基础的信息处理术术的发展,具有信息检测功能的传感器愈来愈引起人们的重视。在工业计测领域,半导体离子传感器的开发和应用,寄以很大希望。半导体离子传感器多以 ISFET(离子敏场效应管)为敏感器件,它不仅可应用于常规离子电极所不能检测的领域,而且以其超小型化结构和快速响应特性而著称。图1示出了 ISFET
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